寧波晶鉆科技股份有限公司(晶鉆科技)的CVD單晶金剛石尺寸達(dá)到60毫米×60毫米(3.35英寸),不僅刷新了該企業(yè)的紀(jì)錄,而且也刷新了全球人造單晶金剛石的紀(jì)錄。
據(jù)悉,微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)作為行業(yè)公認(rèn)的制備大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石的最佳手段之一,目前主要有同質(zhì)外延、異質(zhì)外延兩種技術(shù)路線。同質(zhì)外延技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于其晶體質(zhì)量高,但技術(shù)也極具挑戰(zhàn)性。在產(chǎn)品尺寸不斷突破的同時(shí),該企業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備已擴(kuò)充至1500臺(tái)。這意味著,晶鉆科技的大尺寸、高品質(zhì)CVD單晶金剛石年產(chǎn)能已達(dá)200萬(wàn)克拉,約占全球總產(chǎn)能的18%,產(chǎn)能全球第一。
晶鉆科技主營(yíng)業(yè)務(wù)包括CVD金剛石大單晶(培育鉆石)、超精密單晶金剛石刀具、金剛石復(fù)合高導(dǎo)熱材料及器件、金剛石表面納米改性、金剛石磨具(金剛石鋸片、金剛石砂輪、金剛石繩鋸等)、超真空CVD設(shè)備,超精3D激光雕塑設(shè)備、納米超精金剛石刀具研磨設(shè)備等。自2014年制備出第一顆CVD單晶金剛石以來(lái),歷經(jīng)10余次技術(shù)迭代,已量產(chǎn)2英寸CVD單晶金剛石。2023年底,晶鉆科技成功制備出3英寸CVD單晶金剛石,目前已批量化生產(chǎn)。隨著晶鉆科技產(chǎn)品的再次升級(jí),該企業(yè)向4英寸以上的單晶金剛石制備發(fā)起沖刺。