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CVD金剛石薄膜基體材料的選擇

關鍵詞 CVD金剛石薄膜 , 基體材料|2011-06-21 11:33:40|來源 中國磨料磨具網
摘要 金剛石具有優異的物理、化學性質,在所有物質中具有最高的硬度,室溫下有最高的熱導率,極低的熱膨脹系數,低摩擦系數,良好的化學穩定性,大的禁帶寬度(5.5Ev),最高的聲傳播速度,較高...
  金剛石具有優異的物理、化學性質,在所有物質中具有最高的硬度,室溫下有最高的熱導率,極低的熱膨脹系數,低摩擦系數,良好的化學穩定性,大的禁帶寬度(5.5Ev),最高的聲傳播速度,較高的半導體摻雜性以及從遠紅外光區到紫外光區的光學透過性,使得其在機加工、微電子、光學等許多領域有著廣闊的應用前景。然而天然金剛石數量極少,高溫高壓合成的金剛石由于受粒度限制且價格昂貴,使金剛石的優異性能不能充分利用。1982年,Matsrmto等人使用化學氣相沉積法(CVD)制備出了金剛石膜,使得金剛石的優異性能得以充分發揮,從而在全世界范圍內掀起了CVD金剛石膜研究熱潮。我國目前也加大了對金剛石膜的研究投資力度,并有多家研究單位投入了大量的人力進行此項研究工作,根據國內技術發展現狀和國內技術經濟發展特點,金剛石薄膜涂層工具、金剛石熱沉基片、場發射顯示器件、聲表面波器件及納米金剛石膜的應用將有望陸續進入市場。
  摘自《金剛石與磨料磨具工程》2004.3

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