從中國(guó)機(jī)床工具工業(yè)協(xié)會(huì)獲悉，2009年度機(jī)床工具行業(yè)申報(bào)參加“中國(guó)機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)”評(píng)審共有49項(xiàng)，經(jīng)中國(guó)機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)評(píng)審委員會(huì)機(jī)床專業(yè)組的評(píng)審，并報(bào)中國(guó)機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)管理委員會(huì)批準(zhǔn)，24個(gè)項(xiàng)目獲獎(jiǎng)，其中鄭州磨具磨料磨削研究所的“IC硅片高效超精密磨削用金剛石磨具的研究”獲“中國(guó)機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)”二等獎(jiǎng)。中國(guó)磨料磨具網(wǎng)表示祝賀。
　　據(jù)介紹，硅片加工是IC 制造系統(tǒng)中重要的基礎(chǔ)環(huán)節(jié)，硅片的加工精度、表面粗糙度和表面完整性直接影響IC的線寬和IC 芯片的性能。該硅片減薄金剛石砂輪主要適用于半導(dǎo)體行業(yè)，進(jìn)行IC硅片背面減薄、硅錠倒角等IC硅片加工，其產(chǎn)品的加工性能直接影響IC 質(zhì)量，對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有重要作用。該項(xiàng)目研制出適合于IC硅片及分離元件加工的陶瓷結(jié)合劑和樹(shù)脂結(jié)合劑的金剛石砂輪。其動(dòng)平衡精度達(dá)到≤G2.5；平行度 ≤0.015mm、外圓跳動(dòng)≤0.005mm；使用壽命＞2.0萬(wàn)片（6英寸）；使用線速度50m/s；精磨后硅片精度≤0.005mm；彎曲度 ≤0.5mm。
　　該產(chǎn)品已經(jīng)可替代進(jìn)口同類產(chǎn)品，在國(guó)內(nèi)10 多家企業(yè)的多種型號(hào)磨床配套使用正常。