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鄭州三磨所一項目獲“中國機械工業科學技術獎”二等獎

關鍵詞 三磨所 , 中國機械工業科學技術獎|2010-01-18 00:00:00|來源 中國磨料磨具網
摘要 從中國機床工具工業協會獲悉,2009年度機床工具行業申報參加“中國機械工業科學技術獎”評審共有49項,經中國機械工業科學技術獎評審委員會機床專業組的評審,并報中國機械工業科學技術獎...
  從中國機床工具工業協會獲悉,2009年度機床工具行業申報參加“中國機械工業科學技術獎”評審共有49項,經中國機械工業科學技術獎評審委員會機床專業組的評審,并報中國機械工業科學技術獎管理委員會批準,24個項目獲獎,其中鄭州磨具磨料磨削研究所的“IC硅片高效超精密磨削用金剛石磨具的研究”獲“中國機械工業科學技術獎”二等獎。中國磨料磨具網表示祝賀。
  據介紹,硅片加工是IC 制造系統中重要的基礎環節,硅片的加工精度、表面粗糙度和表面完整性直接影響IC的線寬和IC 芯片的性能。該硅片減薄金剛石砂輪主要適用于半導體行業,進行IC硅片背面減薄、硅錠倒角等IC硅片加工,其產品的加工性能直接影響IC 質量,對半導體行業有重要作用。該項目研制出適合于IC硅片及分離元件加工的陶瓷結合劑和樹脂結合劑的金剛石砂輪。其動平衡精度達到≤G2.5;平行度 ≤0.015mm、外圓跳動≤0.005mm;使用壽命>2.0萬片(6英寸);使用線速度50m/s;精磨后硅片精度≤0.005mm;彎曲度 ≤0.5mm。
  該產品已經可替代進口同類產品,在國內10 多家企業的多種型號磨床配套使用正常。

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