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用于晶體生長的碳化硅表面的制備方法

名稱用于晶體生長的碳化硅表面的制備方法公開號1050949公開日1991.04.24主分類號H01L21/205分類號H01L21/205;H01L21/306申請號9...

日期 2011-06-23   
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