申請(qǐng)?zhí)? 201510203214.3
       申請(qǐng)日: 2015.04.23
       國(guó)家/省市: 中國(guó)濟(jì)南(88)
       公開(kāi)號(hào): 104802043A
       公開(kāi)日: 2015.07.29
       主分類號(hào): B24B 1/00(2006.01)
       分類號(hào): B24B 1/00(2006.01)
       申請(qǐng)人: 山東大學(xué)
       發(fā)明人: 姚鵬; 王偉; 黃傳真; 王軍; 朱洪濤; 劉含蓮; 鄒斌; 劉增文
       代理人: 趙敏玲
       代理機(jī)構(gòu): 37221
       申請(qǐng)人地址: 山東省濟(jì)南市歷下區(qū)經(jīng)十路17923號(hào)

       摘要： 本發(fā)明公開(kāi)了一種自發(fā)熱輔助高效延性域超精密磨削石英玻璃的方法，包括以下步驟：步驟1對(duì)石英玻璃進(jìn)行油性冷卻液輔助冷卻粗磨和精磨，獲得表面粗糙度Ra＆amp;lt;300nm，裂紋深度SSD＆amp;lt;5um的工件表面；步驟2利用超細(xì)磨粒陶瓷結(jié)合劑CBN砂輪對(duì)石英玻璃進(jìn)行延性域干磨削，且不添加任何冷卻液，利用砂輪磨削過(guò)程產(chǎn)生的磨削熱使石英玻璃表面溫度升高，使石英玻璃的脆塑轉(zhuǎn)變臨界砂輪半徑切入深度從亞微米增大至數(shù)微米，在微米級(jí)的砂輪半徑切入深度下對(duì)石英玻璃進(jìn)行磨削加工，實(shí)現(xiàn)石英玻璃的延性域高效超精密磨削，獲得光滑無(wú)裂紋的石英玻璃表面。

       主權(quán)利要求 1.一種自發(fā)熱輔助高效延性域超精密磨削石英玻璃的方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1對(duì)石英玻璃進(jìn)行油性冷卻液輔助冷卻粗磨和精磨，獲得表面粗糙度Ra＆lt;300nm，裂紋深度SSD＆lt;5um的工件表面；步驟2利用超細(xì)磨粒陶瓷結(jié)合劑CBN砂輪對(duì)石英玻璃進(jìn)行延性域干磨削，且不添加任何冷卻液，利用砂輪磨削過(guò)程產(chǎn)生的磨削熱使石英玻璃表面溫度升高，使石英玻璃的脆塑轉(zhuǎn)變臨界砂輪半徑切入深度從亞微米增大至數(shù)微米，在微米級(jí)的砂輪半徑切入深度下對(duì)石英玻璃進(jìn)行磨削加工，實(shí)現(xiàn)石英玻璃的延性域高效超精密磨削，獲得光滑無(wú)裂紋的石英玻璃表面。