石英玻璃是常用的光學材料，具有極低的熱膨脹系數(shù)、出色的電絕緣性能、穩(wěn)定的化學性質以及良好的光傳輸特性，在國防軍工、航空航天、激光通信和光學器件等先進制造領域得到了廣泛應用。

       隨著各種光學應用對高性能石英玻璃需求的增多，對其生產(chǎn)效率和服務可靠性的標準也隨之提高。加工石英玻璃的過程中容易產(chǎn)生劃痕和凹坑等表面缺陷，影響最終產(chǎn)品的性能和壽命。研磨能去除切割過程中產(chǎn)生的表面損傷。游離磨料的工藝體系成熟，能夠實現(xiàn)納米級甚至更高級別的表面質量；但是磨料分散性差、易團聚和加工成本高。固結磨料磨具有磨粒軌跡明確、表面平整度高、加工成本低、加工效率高以及環(huán)境友好等優(yōu)點，得到廣泛應用。

       為了提高石英玻璃研磨的材料去除效率和表面質量，采用固結聚集體復合磨料墊進行加工。通過常溫常壓燒結法制備了粒徑為28 μm的聚集體復合磨料，分別為氧化鋁-金剛石復合磨料、金剛石-金剛石復合磨料和二氧化硅-金剛石復合磨料。然后通過紫外光固化技術，制備了3種固結聚集體復合磨料墊。為驗證所制備磨料墊的性能，使用相同的工藝制備了3種相應的固結單晶磨料墊，并開展對比試驗。

       研究結果表明，固結聚集體復合磨料墊具有更高的加工效率，最高材料去除率可以達到3.611 μm/min。研磨后，石英玻璃的表面粗糙度(R_a)顯著降低，修復了大劃痕等表面損傷。其中最低的表面粗糙度為91.564?nm。固結聚集體復合磨料墊還展現(xiàn)出優(yōu)越的摩擦磨損性能，以更好的加工能力高效加工石英玻璃。

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