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NipponSteel碳化硅晶圓技術(shù)突破4寸晶圓

關(guān)鍵詞 碳化硅|2007-06-23 00:00:00|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 據(jù)Reed-electronics網(wǎng)站報道,NipponSteelCorp.(日本新日鐵)日前表示,公司已開發(fā)出生產(chǎn)下一代半導(dǎo)體晶圓的技術(shù),預(yù)計該技術(shù)將提高家電產(chǎn)品和汽車的能源效率...
據(jù)Reed-electronics網(wǎng)站報道,Nippon Steel Corp.(日本新日鐵)日前表示,公司已開發(fā)出生產(chǎn)下一代半導(dǎo)體晶圓的技術(shù),預(yù)計該技術(shù)將提高家電產(chǎn)品和汽車的能源效率。
  
  據(jù)稱,該公司新開發(fā)出的碳化硅(SiC)晶圓能夠承受比普通硅晶圓高10倍的電壓,熱導(dǎo)率也要高出3倍。
  
  碳化硅化和物是在2,400攝氏度甚至更高的溫度下通過材料再結(jié)晶制備的。由于質(zhì)量控制難度較高,當(dāng)前還只能生產(chǎn)直徑為2至3寸的SiC晶圓,主要用于科研。
  
  Nippon Steel表示其在溫度控制等方面取得的技術(shù)突破使得生產(chǎn)4寸SiC晶圓成為可能,這一尺寸的晶圓已可用于實際的半導(dǎo)體生產(chǎn)線。
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