摘要 一塊月餅樣大小,硬度僅次于金剛石的灰色的晶體塊,這就是晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室剛剛出爐的3英寸碳化硅單晶。該實(shí)驗(yàn)室宣布,這是我國(guó)在研制2英寸碳化硅單晶獲得成功以來(lái),在大直徑碳化硅單晶...
一塊月餅樣大小,硬度僅次于金剛石的灰色的晶體塊,這就是晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室剛剛出爐的3英寸碳化硅單晶。該實(shí)驗(yàn)室宣布,這是我國(guó)在研制2英寸碳化硅單晶獲得成功以來(lái),在大直徑碳化硅單晶研究方面取得的又一突破性進(jìn)展。我國(guó)在“十五”期間獲得2英寸碳化硅單晶,但更大直徑的生長(zhǎng)技術(shù)進(jìn)展緩慢。在國(guó)家 “863”計(jì)劃支持下,山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室依靠2英寸碳化硅單晶小批量產(chǎn)業(yè)化基礎(chǔ),首先利用理論計(jì)算,對(duì)大直徑單晶的溫場(chǎng)進(jìn)行模擬,不斷試驗(yàn)優(yōu)化設(shè)計(jì),最終在2000℃高溫和真空的環(huán)境下,成功生長(zhǎng)出3英寸碳化硅單晶。
自然界的晶體以絢爛的色彩贏得人們的喜愛(ài),不僅如此,還具有奇異的物理性能:能夠?qū)崿F(xiàn)光、電、磁、熱、聲和力的相互作用和轉(zhuǎn)換,是電子器件、半導(dǎo)體器件、固體激光器件的重要材料。據(jù)了解,從19世紀(jì)末開(kāi)始,人們用各種方法來(lái)探索如何生長(zhǎng)晶體,碳化硅單晶就是人工晶體科學(xué)中熠熠生輝的一顆明珠。它被稱(chēng)為第三代半導(dǎo)體材料,目前美國(guó)的碳化硅單晶直徑達(dá)到4英寸,處于國(guó)際領(lǐng)先地位。