摘要 在一定的真空狀態(tài)下,將從蒸發(fā)源蒸發(fā)的粒子部分地離子化,并和其余的中性粒子一起沉積在基體上而形成鍍層的技術(shù),稱為真空離子鍍,簡稱離子鍍。也可稱為真空離子蒸鍍。
在一定的真空狀態(tài)下,將從蒸發(fā)源蒸發(fā)的粒子部分地離子化,并和其余的中性粒子一起沉積在基體上而形成鍍層的技術(shù),稱為真空離子鍍,簡稱離子鍍。也可稱為真空離子蒸鍍。
1.在一定的真空條件下進(jìn)行。2.成膜材料蒸發(fā)。可以采用真空蒸鍍相同的蒸發(fā)方法,還可以采用空心陰極型電子束法和真空電弧法。3.蒸發(fā)的成膜材料部分電離。電離方式,可以利用惰性氣體等離子體(例如直流輝光放電法,空心陰極法)...
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