“芯片劃切是芯片制造的關(guān)鍵步驟,長(zhǎng)期以來(lái),我國(guó)相關(guān)劃切技術(shù)落于人后,成為制約我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的難題。”7月12日,記者走進(jìn)鄭州三磨所高性能工具全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,不少科研人員正在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,實(shí)驗(yàn)室突破了超薄砂輪高效精密劃切磨損機(jī)制、極薄砂輪(0.01mm)等系列關(guān)鍵技術(shù),研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的半導(dǎo)體芯片精密劃切用系列超薄砂輪,解決了我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)芯片的精密高效劃切難題。
△CVD鉆石
企業(yè)是科技創(chuàng)新的主體。近年來(lái),鄭州三磨所圍繞金剛石材料,面向航空航天、核工業(yè)、第四代半導(dǎo)體、超大功率器件等國(guó)家尖端技術(shù)領(lǐng)域迫切需求以及電子信息、汽車(chē)、家用電器、光伏、LED、風(fēng)能等各行業(yè)領(lǐng)域的升級(jí)發(fā)展需求,突破多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),打破了我國(guó)高檔精密超硬材料制品主要依靠進(jìn)口的局面。
2022年,鄭州三磨所緊抓新一輪創(chuàng)新平臺(tái)優(yōu)化重組戰(zhàn)略機(jī)遇,原超硬材料磨具國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室成功獲批重組建設(shè)高性能工具全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,并新增2個(gè)國(guó)家級(jí)創(chuàng)新平臺(tái)。同年,鄭州三磨所聯(lián)合鄭州大學(xué)、河南工業(yè)大學(xué)、黃河旋風(fēng)、力量鉆石等高校、科研院所和企業(yè),組建了“河南省高端超硬材料及制品創(chuàng)新聯(lián)合體”,很大程度上解決了行業(yè)產(chǎn)、學(xué)、研、用脫節(jié)的問(wèn)題。在發(fā)展過(guò)程中,公司也匯聚了大量人才,培育出“高速高效精密超硬材料磨具技術(shù)研究團(tuán)隊(duì)”等多個(gè)科技團(tuán)隊(duì)。
△由鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司自主研發(fā)的鄭州本土品牌的鉆石——黛諾
三磨所超硬材料是鄭州科技創(chuàng)新的一個(gè)縮影。在科技創(chuàng)新賽道上,鄭州越來(lái)越多的行業(yè)和企業(yè)正在從“追隨者”向“領(lǐng)跑者”轉(zhuǎn)變。一項(xiàng)項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)的攻破,一個(gè)個(gè)科技企業(yè)的迅速發(fā)展,很大程度上得益于鄭州堅(jiān)持改革牽引和創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)相結(jié)合,通過(guò)改革重塑順應(yīng)創(chuàng)新發(fā)展的科技體制和人才機(jī)制,下好了創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)這步“先手棋”。
鄭州市科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,目前,鄭州市國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室已達(dá)到14家,56家大院名所在鄭設(shè)立新型研發(fā)機(jī)構(gòu);規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)研發(fā)活動(dòng)覆蓋率達(dá)到83%,高新技術(shù)企業(yè)總量突破5800多家,省級(jí)以上專(zhuān)精特新中小企業(yè)達(dá)到1129家。