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新型結構線鋸切割晶體硅片特性研究

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摘要:通過雙向結構線鋸切割晶體硅片試驗,分析了切片表面的微觀形貌特點,研究了砂漿用量與進給速度對硅片表面粗糙度(Ra)、總厚度偏差(TTV)、翹曲度的影響大小。結果表明...

日期 2014-05-05   
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